<div dir="ltr">Dear Colleagues,<div><br></div><div>Are you aware of the accuracy of "beam parallelism" in 3 lens condenser systems e.g. Krios? How much is the normal tolerance in mRad? </div><div><br></div><div>Best regards,</div><div><br></div><div>Farzad Hamdi</div><div><br></div><div>University of Halle</div></div>